微电子工业用湿化学品的生产和发展

• 作者: 李葰
• 来源期刊: 上海化工
• 学科: 经济
• 关键词: 湿化学品 高纯试剂 高纯化学品 电子化学品
• 年，卷（期）: 2004,（8）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 32-35
• 页数: 4页
• 分类号: F4
• 字数: 4279字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-017X.2004.08.010

摘要

叙述了集成电路芯片加工用的湿化学品的分类,主要是超净高纯试剂和溶剂,以及如何达到国际半导体设备和材料协会所要求的C7、G8或C12规格的纯化方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李葰		2	9	2.0	2.0