SnO2:Pt薄膜和SnO2/SnO2:Pt双层膜气敏响应的次方因子

• 作者: 刘东红 刘文利 李蕾 高建华
• 来源期刊: 山东大学学报(工学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 半导体膜 粉末溅射 气敏器件
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 115-119
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.07|O472.1
• 字数: 2760字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3961.2004.01.031

摘要

用粉末溅射方法制备了体掺杂型SnO2:Pt薄膜和表面层掺杂SnO2/SnO2:Pt双层膜,测量了薄膜在不同CO体积分数下的灵敏度和电导. 研究了两种薄膜对CO响应的次方因子,测定了工作温度和薄膜厚度对次方因子的影响.实验结果表明,由室温至200 ℃,这两种薄膜对CO气体都显示了较高的灵敏度和选择性,两种薄膜电导对CO的响应服从次方定律关系,薄膜工作温度及厚度对次方因子均有影响,次方因子在0.5～0.8之间,次方因子在膜厚60～70 nm附近存在极大值.对两种薄膜测量结果的比较说明,这两种薄膜的气敏响应主要发生在薄膜表面.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李蕾	山东大学物理与微电子学院	51	312	10.0	15.0
2	刘东红	山东大学物理与微电子学院	25	110	7.0	10.0
3	刘文利	山东大学物理与微电子学院	17	36	3.0	5.0
4	高建华	山东大学物理与微电子学院	5	16	2.0	4.0