Coherent的紫外激光器可加快显微机械加工速度

• 来源期刊: 电子元器件应用
• 学科: 工学
• 关键词: Coherent公司 紫外激光器 AVIA Thor 性能
• 年，卷（期）: 2004,（9）
• 页码范围: 46
• 页数: 1页
• 分类号: TN248

摘要

<正> Coherent公司推出的AVIA Thor激光器使显微机械加工具有比以前的激光器或机械方法更快的速度。它还具有高脉冲能量(大于500μJ)和高重复率(30 kHz)的特点,平均功率比其他355 nm的工业激光器高出50%,达15W以上。据介绍,Thor激光器