准连续17 kW 808 nm GaAs/AlGaAs叠层激光二极管列阵

• 作者: 方高瞻 王国宏 蓝永生 谭满清 马骁宇
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 激光二极管列阵 叠层 GaAs/AlGaAs
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 激光器件
• 页码范围: 649-653
• 页数: 5页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 3129字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2004.06.003

摘要

高功率激光二极管列阵广泛应用于抽运固体激光器.报道了17 kW GaAs/AlGaAs叠层激光二极管列阵的设计、制作过程和测试结果.为了提高器件的输出功率,一方面采用宽波导量子阱外延结构,降低腔面光功率密度,提高单个激光条的输出功率,通过金属有机物化学气相沉积(MOCVD)方法进行材料生长,经过光刻、金属化、镀膜等工艺制备1 cm激光条,填充密度为80%,单个激光条输出功率达100 W以上;另一方面器件采用高密度叠层封装结构,提高器件的总输出功率,实现了160个激光条叠层封装,条间距0.5 mm.经测试,器件输出功率达17kW,峰值波长为807.6 nm,谱线宽度为4.9 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭满清	中国科学院半导体研究所国家光电子器件工程研究中心	24	136	8.0	10.0
2	马骁宇	中国科学院半导体研究所国家光电子器件工程研究中心	93	616	12.0	21.0
3	王国宏	中国科学院半导体研究所国家光电子器件工程研究中心	41	1911	17.0	41.0
4	方高瞻	中国科学院半导体研究所国家光电子器件工程研究中心	14	183	8.0	13.0
5	蓝永生	中国科学院半导体研究所国家光电子器件工程研究中心	2	20	2.0	2.0