能同时聚焦离子束和电子束的新系统

• 来源期刊: 光学精密机械
• 学科: 工学
• 关键词: 美国 离子束 电子束 聚焦 多孔屏蔽板
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 页码范围: 11
• 页数: 1页
• 分类号: TN101

摘要

最近，美国科学家发明了一种能同时聚焦离子束(通常为带正电荷的阳离子)和电子束的新系统，将离子束技术的运用范围和效率又往前推进了一步。焦集的离子束在半导体行业有着重要作用，可用来切割纳米级结构，对光刻技术中的屏蔽板进行修补，分离和分析集成电路的各个元件，激活由特殊原子组成的材料，使其具有导电性等等。