飞秒激光双光子微细加工技术及研究现状

• 作者: 周拥军 夏安东 李艳秋 蒋中伟 袁大军 黄文浩 龚莹
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 双光子激发 飞秒激光 微细加工技术
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 光学仪器与设计
• 页码范围: 637-640
• 页数: 4页
• 分类号: TN249|TN205
• 字数: 4809字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2004.05.026

摘要

飞秒激光双光子微细加工技术以其特有的高精度三维微加工优势,成为微型机械加工领域新的发展方向之一.介绍了飞秒激光双光子微细加工技术的原理和应用的现状.结合目前已有的微细加工技术,对双光子微细加工技术的特点加以评述.简要报道了利用飞秒激光双光子微细加工技术的一些研究进展.探讨了飞秒激光双光子微细加工技术今后的发展方向及其存在的基本问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李艳秋	中国科学院电工所微纳加工实验室	35	388	12.0	18.0
2	黄文浩	中国科技大学精密机械与仪器系	9	72	5.0	8.0
3	周拥军	中国科技大学精密机械与仪器系	3	39	3.0	3.0
4	龚莹	中国科学院化学所分子反应动力学国家重点实验室	1	25	1.0	1.0
5	蒋中伟	中国科技大学精密机械与仪器系	1	25	1.0	1.0
6	袁大军	中国科技大学精密机械与仪器系	1	25	1.0	1.0