钇稳定氧化锆薄膜的制备及其微细加工

• 作者: 张卫华 赵高扬
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化锆薄膜 溶胶-凝胶 感光性 微细图形
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 424-428
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 1873字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2004.02.027

摘要

以甲醇为溶剂,硝酸氧锆、硝酸钇为前驱物,采用溶胶-凝胶方法,通过引入化学修饰剂乙酰丙酮(AcAcH),使乙酰丙酮和锆离子形成螯合物,得到了具有紫外光感光性的溶胶及其凝胶薄膜,提出了YSZ薄膜的微细图形加工新方法.UV-Vis.分光光度计的紫外光谱测试结果表明:乙酰丙酮与锆离子形成的螯合物在室温、可见光、大气环境下,可以存在于凝胶薄膜中,并具有较好的热稳定性和光化学稳定性,其紫外光谱的特征吸收峰大约在310nm附近;325nm紫外激光光源照射凝胶薄膜,能破坏、分解凝胶薄膜中的这种螯合物结构,使凝胶薄膜的物理化学性质发生变化,实验发现,经过紫外激光照射的凝胶薄膜在适当的有机溶剂(如甲醇等)中的溶解度和溶解速度显著降低,利用这一特性,采用325nm紫外激光通过掩膜照射凝胶薄膜,并在适当的有机溶剂中溶洗掉未受照射的区域,经过800℃,20min热处理,得到了具有微细图形的YSZ薄膜,XRD测试表明该薄膜相结构为立方相.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张卫华	西安理工大学材料科学与工程学院	27	162	8.0	11.0
2	赵高扬	西安理工大学材料科学与工程学院	72	349	10.0	14.0