组合材料芯片技术及其应用

• 作者: 徐文兰 陆卫
• 来源期刊: 物理
• 学科: 物理学
• 关键词: 芯片技术 掩膜 材料
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 前沿进展
• 页码范围: 419-423
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 5785字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0379-4148.2004.06.007

摘要

组合材料芯片技术是用一系列掩膜在同一块基片上获得含不同参数单元样品面阵的方法.文章介绍了它在量子阱特性、碲镉汞零偏电阻值、三元合金制备、半导体深能级捕获截面的研究以及在波分复用器件、滤光片式分光元件制作方面的一些新应用.作为一种新的材料功能操控或制备技术,它在研究材料性质变化规律、建立材料性能数据库、筛选优良材料和制作面阵型元件等方面表现出高效、快捷等特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陆卫	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	95	442	12.0	16.0
2	徐文兰	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	11	92	4.0	9.0