Mirau相移干涉术中的中心遮拦研究

• 作者: 井文才 周革 张以谟 张红霞 李朝辉
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: Mirau相移干涉 中心遮拦 调制传递函数MTF 残余像差
• 年，卷（期）: 2004,（10）
• 所属期刊栏目: 测量·检测
• 页码范围: 1218-1221
• 页数: 4页
• 分类号: TN247|TH74
• 字数: 2994字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2004.10.021

摘要

Mirau相移干涉中的参考面对光路造成了中心遮拦.理论分析了被测面视场、Strehl判据、分辨本领、调制传递函数MTF以及残余像差和中心遮拦的关系,得到参考面的允许直径0.8～1.28 mm.设计了参考面直径D＝1.0 mm的Mirau干涉物镜,其中心遮拦ε＝0.129,和没有中心遮拦的系统相比,MTF变化的幅度不超过6%,允许的残余像差为0.978.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张红霞	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室	45	209	9.0	12.0
2	张以谟	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室	153	1890	20.0	38.0
3	井文才	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室	40	277	11.0	14.0
4	周革	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室	38	190	9.0	12.0
5	李朝辉	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室	10	80	5.0	8.0