高性能聚焦离子束技术的应用

• 作者: 周伟敏
• 来源期刊: 理化检验-物理分册
• 学科: 工学
• 关键词: 聚焦离子束(FIB) 透射电子显微分析(TEM) 二次离子像(SIM) 样品制备
• 年，卷（期）: 2004,（9）
• 所属期刊栏目: 实验技术与方法
• 页码范围: 453-456
• 页数: 4页
• 分类号: TG115.2
• 字数: 2369字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4012.2004.09.007

摘要

叙述了采用液态镓作为离子源的高性能聚焦离子束系统(FIB)在材料科学研究领域中的作用.该系统有三大用途:形貌观察;分辨率高达5nm;微刻蚀以及微沉淀.详细地介绍了利用FIB进行形貌观察、制备TEM样品和表面刻蚀的过程及实验结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周伟敏	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	15	81	6.0	8.0