用超声喷雾热分解法制备SnO2:F薄膜

• 作者: Wolden COLIN 奚建平 崔容强 徐东 陈全
• 来源期刊: 电源技术
• 学科: 工学
• 关键词: 超声喷雾热分解法 SnO2:F薄膜 温度
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 97-100
• 页数: 4页
• 分类号: TM914.4
• 字数: 3614字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-087X.2004.02.011

摘要

采用超声喷雾热分解法沉积高性能掺氟二氧化锡(SnO2:F)透明导电膜(TCO),其最小方块电阻为9 Ω(400 nm 厚),可见光透过率大于80%.X射线衍射(XRD)分析表明,SnO2:F薄膜为多晶结构;原子力显微镜(AFM)观察表明,SnO2:F薄膜平均粒径约为100nm.此外对石墨导热体和置于其上的玻璃基片两者之间的温度差别做了初步研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔容强	上海交通大学物理系太阳能研究所	38	544	14.0	22.0
2	徐东	上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室	23	187	6.0	13.0
3	陈全	上海交通大学物理系太阳能研究所	4	1180	3.0	4.0
4	奚建平	上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室	5	39	4.0	5.0