超声喷雾法制备SnO2:Sb电热薄膜结构和电学性能

• 作者: 吴其胜 童卫红 陈秋静 顾斌
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 超声喷雾法 结构 方块电阻 电热性能
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 392-396
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4|TM201.4+4
• 字数: 3146字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14136/j.cnki.issn1673-2812.2020.03.008

摘要

以SnCl4·5H2O和SbCl3为原料,无水乙醇作溶剂,溶胶-凝胶法制备SnO2:Sb(ATO)薄膜的前驱体溶液,再用超声喷雾热解法制得薄膜,并用包括四探针测试仪及热功率测试设备等在内的方法对样品进行表征.结果表明:超声喷雾热解法可制备表面平整的ATO薄膜;Sb元素的掺杂并未改变SnO2的晶体结构,且随着沉积温度的增加,薄膜的结晶度提高;当沉积温度为500℃,Sb掺量为1.5at.％,c(Sn)=0.8mol/L时方块电阻最小,为105Ω/□,施加220V电压最高加热温度达到213℃.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴其胜	盐城工学院材料工程学院	107	654	15.0	20.0
2	顾斌	安徽理工大学材料科学与工程学院	3	0	0.0	0.0
3	陈秋静	江苏大学材料科学与工程学院	2	0	0.0	0.0
4	童卫红	江苏大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0