SnO2:Sb:Ni低温气敏薄膜的制备及性能研究

• 作者: 刘祖黎 姚凯伦 曹妩媚
• 来源期刊: 华中科技大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: sol-gel工艺 气敏薄膜 气敏及电学性能
• 年，卷（期）: 2001,（9）
• 页码范围: 99-102
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2920字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.2001.09.034

摘要

以无机盐SnCl4@5H2O,SbCl5,NiCl2@6H2O为原料,采用溶胶-凝胶工艺制备了Sb2O3和NiO掺杂的SnO2薄膜.研究了SnO2:Sb:Ni薄膜的电学和气敏性能.实验研究表明,由于锑的掺杂,所制得的SnO2:Sb:Ni薄膜电阻较低,室温下其电阻只有120 kΩ/.而NiO作为催化剂,使其对NOx气体具有较高的灵敏度和良好的选择性.与SnO2:Sb薄膜相比,其工作温度大大降低,在常温下对NOr气体(主要成分是NO)也具有一定的灵敏度;并且水汽不影响其对NOx气体的灵敏度.SnO2:Sb:Ni薄膜工作温度的降低主要是薄膜表面缺陷和颈连粒子的存在所致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚凯伦	华中科技大学物理系	32	341	10.0	17.0
2	刘祖黎	华中科技大学物理系	36	485	12.0	21.0
3	曹妩媚	华中科技大学物理系	1	4	1.0	1.0