基于MEMS微加工技术的高灵敏度隧道传感器的研究

• 作者: 崔天宏 王晶 薛伟
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 隧道传感器 灵敏度 分辨率 聚合物 热模压加工 低频噪音
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳科学与技术
• 页码范围: 491-503
• 页数: 13页
• 分类号: TP212.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.05.008

摘要

基于硅加工的高灵敏微型隧道传感器在过去15年里得到了充分的发展.多种隧道传感器被开始出来,例如加速度计,角速度计,红外传感器,磁性传感器等.首先对基于硅加工的隧道传感进行了简单的总结.对四种传感器进行了总结和讨论,包括几种器件的结构设计,加工过程,器件性能,控制电路和系统噪音.特别介绍了一种新型的基于高分子聚合物的隧道加速度计,并讨论了其结构,加工与测试,隧道效应得到了进一步验证.同时给出了这种新型高灵敏传感器在很多领域的应用展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛伟	美国明尼苏达大学机械工程系和纳米加工研究中心	1	9	1.0	1.0
2	王晶	美国明尼苏达大学机械工程系和纳米加工研究中心	1	9	1.0	1.0
3	崔天宏	美国明尼苏达大学机械工程系和纳米加工研究中心	1	9	1.0	1.0