数字化白光扫描干涉仪的研究

• 作者: 井文才 张以谟 张红霞 李朝辉 李海峰
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 白光干涉仪 扫描模式 微形貌测量 偏振耦合点位置测量
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 560-565
• 页数: 6页
• 分类号: O436.1
• 字数: 2572字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.06.002

摘要

研究并设计实现了微形貌测量白光扫描干涉仪系统和光纤偏振耦合点监测白光扫描干涉仪系统.前者采用Mirau相移干涉形式,用压电陶瓷传感器PZT作移项器,主要用于微形貌测量,精度可达nm量级.后者采用光路补偿白光Michelson干涉形式,用格兰棱镜对偏振态进行调整控制,用移动参考臂来补偿由于耦合点所造成的光程差,光纤寄生偏振耦合测试仪的空间分辨率达到50 mm,测量范围达到1 km,探测灵敏度不小于-80 dB(耦合模式与主模式的功率比).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张以谟		1	26	1.0	1.0
2	井文才		1	26	1.0	1.0
3	张红霞		1	26	1.0	1.0
4	李海峰		1	26	1.0	1.0
5	李朝辉		1	26	1.0	1.0