基于阈值判定法的白光干涉仪自动扫描技术研究

• 作者: 叶瑞芳 吴志顺 崔长彩 李兵 黄春棋 黄辉
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 白光干涉 自动扫描 干涉条纹 图像处理
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 1482-1486
• 页数: 5页
• 分类号: TP271.4|TP271.4
• 字数: 3560字
• 语种: 中文

摘要

为了解决实际操作中人工寻找干涉条纹费时、不准确和干涉扫描范围难以精确确定等问题,提出了一种自动扫描技术,实现了白光干涉仪的自动对焦和干涉扫描范围的自动确定。该技术采用全新的基于图像灰度方差变化的方法。首先,计算图像灰度方差变化比值;然后,将该比值与预先设定的阈值进行比较,判断干涉条纹初始和结束位置;最后,根据这两个位置自动确定干涉扫描范围。实验证明：当阈值取0.5时,采用粗精双级结构的白光干涉仪能在3min内准确完成1.2μm被测高度的自动扫描过程,约是手动调节速度的两倍。该技术提高了白光干涉仪的自动化水平及使用效率。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔长彩		55	459	12.0	20.0
2	李兵		5	125	4.0	5.0
3	黄辉		92	796	17.0	23.0
4	叶瑞芳		19	60	4.0	7.0
5	黄春棋		6	18	2.0	4.0
6	吴志顺		2	12	1.0	2.0