虹吸动态化学腐蚀法制备近场光学显微镜光纤探针的研究

• 作者: 刘战辉 孙永康 孙龙 徐丽娜 李昌安 顾宁
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 仪器 近场光学显微镜 光纤探针制备 虹吸原理 动态化学腐蚀法
• 年，卷（期）: 2004,（11）
• 所属期刊栏目: 应用光学
• 页码范围: 1441-1444
• 页数: 4页
• 分类号: O439|TH742.9
• 字数: 1974字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2004.11.001

摘要

基于虹吸原理,设计了一种动态化学腐蚀法的简易装置,用于制备近场光学显微镜光纤探针.在一般化学腐蚀法的基础上,通过改变虹吸管中水的流向和流速来有效地控制探针锥角和锥长,制备出多种形貌的光纤探针.与传统的静态化学腐蚀法相比,该法具有重复性高、探针形貌可控、操作方便、实验费用低廉、制备的探针表面光滑等优点.利用该装置,成功地制备出针尖尺寸50～300nm,针尖锥角在16°～65°之间可调的光纤探针.同时,选择适当的液位差,通过一步腐蚀法制备出针尖尺寸小于50 nm,针尖锥角125°的双锥角光纤探针.并对可能的腐蚀机理进行了探讨.