厚膜微调技术及发展趋势

• 作者: 李文娟 田兴志
• 来源期刊: 光机电信息
• 关键词: 喷砂微调 脉冲电压微调 激光微调
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳科学与技术
• 页码范围: 29-34
• 页数: 6页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-1180.2004.06.009

摘要

介绍了厚膜电阻常用的喷砂微调和脉冲电压微调、激光微调三种微调技术及其发展趋势,重点介绍了激光微调机理、调阻方式以及微调图形分类.与喷砂和脉冲电压微调技术相比,激光微调具有精度高、速度快、效率高的特点,因而具有广阔的发展前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田兴志	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	13	226	7.0	13.0
2	李文娟	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	2	22	1.0	2.0