自聚焦超晶格波导电光调制器

• 作者: HO Seng-Tiong MARKS Tobin 刘志福 孙德贵 康虎 朱培旺
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 电光调制器 自聚焦超晶格 波导 光传输损耗 传输矩阵
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 材料科学与技术
• 页码范围: 386-392
• 页数: 7页
• 分类号: TN252
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.04.006

摘要

研制了一种基于自聚焦超晶格薄膜电光波导调制器.首先给出了自聚焦超晶格薄膜电光特性的测量和器件结构的优化设计,采用测量二次谐波生成值对入射角的依赖关系测定了薄膜的有效电光系数,保证了器件的设计精确有效.利用多层膜传输理论研究了器件电极对光波的最大吸收,并对器件结构进行了优化,获得了最小调制电压.其次给出了所加工的实验模型结构和扫描电子显微镜(SEM)图片,确保了加工质量和设计结果的一致.研究结果表明:这种无需外电场极化处理的新型聚合物薄膜电光调制器加工难度小,并且光学损耗优化到了1.0 dB/cm.