染料旋涂工艺中的挥发和流动

• 作者: 岳宏达 徐端颐 潘龙法
• 来源期刊: 清华大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 染料旋涂 旋转圆盘 流动机制 溶剂挥发 工艺模型
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 精密仪器与机械学
• 页码范围: 174-177
• 页数: 4页
• 分类号: TQ639.2
• 字数: 2816字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-0054.2004.02.011

摘要

染料旋涂是高密度可录光盘复制工艺中的核心部分,其流体流动的力学机制分析属于旋转圆盘系统理论的最新进展,文中分析了染料旋涂中复合溶剂的挥发对流体流动的影响.利用牛顿流体旋涂模型和旋涂溶剂挥发模型进行仿真实验,并对过渡点位置进行修正.依托实际光盘复制生产线进行离线旋涂实验.根据仿真实验和生产线旋涂实验提出染料旋涂的工艺模型: 无溶剂挥发、无流体流动的下料阶段; 无溶剂挥发、有流体流动的扩散阶段; 有溶剂挥发、无流体流动的甩干阶段.利用工艺模型优化染料旋涂工艺,实现生产线的闭环控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐端颐	清华大学精密仪器与机械学系	63	595	13.0	21.0
2	潘龙法	清华大学精密仪器与机械学系	52	490	10.0	21.0
3	岳宏达	清华大学精密仪器与机械学系	9	18	2.0	4.0