溶胶-凝胶法制备抗激光损伤SiO2疏水减反射膜

• 作者: 吴东 孙予罕 徐耀 章斌 范文浩 蒋晓东 魏晓峰 黄祖鑫
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶-凝胶 疏水性 减反射膜 二氧化硅 激光损伤
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 40-44
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3521字
• 语种: 中文

摘要

通过溶胶-凝胶法,在碱性条件下水解缩聚正硅酸乙酯获得含有SiO2颗粒的溶胶;以甲基三乙氧基硅烷在酸性条件下水解缩聚获得双链聚合物溶液,作为疏水基团的引入剂.用两者的混合物在玻璃片上旋转镀膜.利用光子相干光谱法、透射电子显微镜、小角X射线散射等方法研究了溶胶微结构,利用紫外-可见光谱仪和接触角测定仪测量薄膜的透射率和疏水性.单面反射率最低降至0.01%,对水接触角最高为118°.利用Nd:YAG激光(1 064nm)测量了薄膜的激光损伤阈值,随混合溶胶中双链聚合物含量的增加损伤阈值减小,但均高于20J/cm2(1ns脉冲).由于薄膜既保持了纳米氧化硅薄膜的多孔性,又在颗粒及孔表面以甲基修饰,水对薄膜的浸润能力大大降低,因此薄膜的时间稳定性大大增强,同时也保证了较高的损伤阈值和透射率.