三步非定步长相移轮廓术研究

• 作者: 周灿林 王蕴珊 高成勇
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: 相位测量轮廓术 投影栅 相移法
• 年，卷（期）: 2004,（8）
• 所属期刊栏目: 测量·检测
• 页码范围: 967-970
• 页数: 4页
• 分类号: TN247
• 字数: 2093字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2004.08.020

摘要

移相式相位轮廓术的关键在于相移量的检测、提取.只有正确地提取出相移量才能提高测量的精度,降低测量系统的复杂性.在对非定步长相移轮廓术研究的基础上,提出了一种新的投影栅相位测量方法--三步非定步长相移法,只需相移光栅两步并获取66幅条纹图,即可完成非定步长解调相位的工作.该方法无须精确的相移器,计算过程相对简单并且速度快.并且给出了与Kong-Kim算法实验及计算结果的比较,证明该方法具有较高的精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高成勇	山东大学物理与微电子学院	18	130	5.0	11.0
2	王蕴珊	山东大学物理与微电子学院	20	149	7.0	11.0
3	周灿林	山东大学物理与微电子学院	22	292	9.0	16.0