挥发金属β-二酮化合物质量传输过程的试验研究

• 作者: 卓钺 杨盛良 潘水艳
• 来源期刊: 冶金分析
• 学科: 工学
• 关键词: 金属β-二酮化合物 乙酰丙酮铱 质量传输速率
• 年，卷（期）: 2004,（z2）
• 所属期刊栏目: 材料组织结构与物性分析
• 页码范围: 584-586
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 2257字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7571.2004.z2.033

摘要

为了确定以乙酰丙酮铱这种金属β-二酮化合物为沉积源的金属铱MOCVD的具体工艺参数,针对基体面积较大或不规则的工艺条件,本文自行设计了能在不同温度下适时采集数据的微量失重-时间数据采集记录仪,进行了以Ar气为载气,温度在220℃-250℃之间的乙酰丙酮铱质量传输过程的试验研究,发现质量传输速度不仅与载气、温度有关,而且与有效表面积有关.实验给出了了相关温度下质量传输速度的有关数据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨盛良	国防科技大学材料工程与应用化学系	35	552	13.0	23.0
2	卓钺	国防科技大学材料工程与应用化学系	18	101	5.0	9.0
3	潘水艳	国防科技大学材料工程与应用化学系	2	4	1.0	2.0