激光驻波原子透镜的像差分析

• 作者: 姚汉民 张春梅 石建平 陈旭南 陈献忠
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 激光驻波场 原子透镜 像差分析 光刻技术
• 年，卷（期）: 2004,（10）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 1233-1239
• 页数: 7页
• 分类号: O435.2|TN305
• 字数: 4258字
• 语种: 中文

摘要

用激光驻波构成的原子透镜对原子束实现nm量级的聚焦,由于原子束的速度扩散、束扩散和原子的波动特性等因素的影响,原子透镜存在像差.建立了两种描述原子透镜的理论模型,用半经典模型分析原子透镜的球差、色差及由原子束的发散角引起的像差,用量子模型分析原子透镜的衍射像差.模拟结果表明原子束的发散角是产生像差的主要因素,衍射像差大于球差和色差.提出了优化实验参数、增加束掩模和利用刻蚀技术三种改善原子光刻实验的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈献忠	中国科学院光电技术研究所	17	75	4.0	8.0
2	姚汉民	中国科学院光电技术研究所	44	355	9.0	16.0
3	陈旭南	中国科学院光电技术研究所	39	212	9.0	13.0
4	石建平	中国科学院光电技术研究所	19	73	5.0	8.0
5	张春梅	中国科学院光电技术研究所	9	40	3.0	6.0