实现微牛级动态推力测试的方法和试验研究

• 作者: 周兆英 熊继军
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微牛级推力 悬臂梁 微推进器
• 年，卷（期）: 2004,（z3）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统(MEMS)
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 1629字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2004.z3.003

摘要

本文介绍了一种微牛级推力的测试方法.该方法的基本思想是将微牛级推力通过悬臂梁转换成微米级位移,然后通过微位移传感器测试该微位移,得到微推力大小.该方法的关键之处在于如何从悬臂梁的自由振动中分离出弯曲量.文章介绍了该方法的理论模型、系统实现以及测试结果.用于微胶体推进器测试时,与理论值相比较,该方法的误差约为10%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周兆英	清华大学精密仪器系	205	3706	31.0	54.0
2	熊继军	清华大学精密仪器系	8	42	4.0	6.0