MEMS尺寸效应的分析模型及应用

• 作者: 刘凯 褚金奎 韩光平
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 微电子机械系统 尺寸效应 泛函分析 分析模型
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 632-635
• 页数: 4页
• 分类号: TH112
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2004.07.020

摘要

论述了尺寸效应的内涵及其对微电子机械系统(MEMS)基础理论研究的重要影响;提出了广义尺寸效应、狭义尺寸效应,正效应、负效应及其判据;建立了狭义尺寸效应的分析模型,从尺寸泛函的绝对值、相对值和对尺寸的灵敏度三个方面进行泛函分析.将该模型应用到两端固支多晶硅微梁的弯曲测试,分析结果与实验相符.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	褚金奎	西安理工大学机械与精密仪器学院	38	468	13.0	20.0
2	刘凯	西安理工大学机械与精密仪器学院	112	569	13.0	16.0
3	韩光平	西安理工大学机械与精密仪器学院	7	105	7.0	7.0