小F数标准球波面透镜组的F'C重合误差分析

• 作者: 高志山
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学技术与仪器 误差分析 光学设计 球波面 干涉仪
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 所属期刊栏目: 实验技术与元件
• 页码范围: 793-796
• 页数: 4页
• 分类号: O435.2
• 字数: 2132字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2004.07.007

摘要

标准球波面透镜组是光干涉计量测试凸、凹球面面形质量的重要测量器具,它能产生p-V值优于λ/20(λ=0.6328μm)的标准球面波,透镜组中末球面为标准球面.其使用特点要求透镜组的焦点F'与末面球心C重合;如果存在重合误差,则用于球面面形检验时会引入测量系统误差.推导分析了F'C的允许重合误差与透镜组F数等参量的关系,运用ZEMAX光学设计软件模拟给出系列小F数标准球波面透镜组允许的F'C重合误差,并设计实验测试方案,得到反映标准球波面透镜组F'C重合误差的干涉图,它们的波像差均小于5λ.由理论分析与实验测试结果可知,F数很小(如F/1.5,F/0.75)的标准球面透镜组,F'C重合误差小于0.03 mm,甚至达到微米量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高志山	南京理工大学电子工程与光电技术学院	71	465	12.0	18.0