溶胶-凝胶法制备掺Er3+:Al2O3/SiO2/Si光波导薄膜

• 作者: 杨涛 王兴军 雷明凯
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光学薄膜 掺Er3+光波导放大器 溶胶-凝胶法
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 光束传输与控制,材料、薄膜及元器件
• 页码范围: 465-467
• 页数: 3页
• 分类号: TN204|O484.1
• 字数: 2043字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2004.z1.155

摘要

采用溶胶-凝胶(Sol-gel)法在热氧化的SiO2/Si(100)基片上提拉法制备掺EP:A12O3光学薄膜.采用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(ARM),X射线衍射分析(XRD)研究了掺Er3+:Al2O3光学薄膜的形貌、厚度以及结构等特性.结果表明,在氧化的SiO2/Si(100)基片上获得了厚度为1.2 μm,固溶Er3+的面心立方结构γ-(Al,Er)2O3和单斜结构θ-(A1,Er)2O3的薄膜.薄膜表面光滑、平整,无明显的表面缺陷.掺EP:Al2O3薄膜晶粒分布均匀,平均晶粒直径为50～200 m,表面起伏度为10～20 nm.测量了10 K下掺0.1 mo1%～1.5 mo1%Er3+:Al2O3光学薄膜的光致发光(PL)谱,获得了中心波长为1.533μm的发光曲线.PL强度随Er3+掺杂浓度的增加而下降,相应的半峰宽(FWHM)也从45 nm减小到36 nm.Sol-gel法制备掺Er3+:Al2O3/SiO2/Si光学薄膜满足有源光波导放大器基体材料的性能要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	雷明凯	大连理工大学材料工程系表面工程研究室	115	712	14.0	19.0
2	杨涛	大连理工大学材料工程系表面工程研究室	10	62	5.0	7.0
3	王兴军	大连理工大学材料工程系表面工程研究室	7	75	5.0	7.0