一、二阶释放模型在表面微机械中的应用

• 作者: 丁纯 徐宁宁 金仲和 马慧莲
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅表面微机械 牺牲层释放腐蚀 一、二阶合腐蚀模型
• 年，卷（期）: 2004,（z3）
• 所属期刊栏目: 智能仪表与微机电系统
• 页码范围: 91-94
• 页数: 4页
• 分类号: TH-39
• 字数: 2955字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2004.z3.031

摘要

随着硅表面微机械技术的发展,使得许多微机械器件的制作成为可能.通过对一、二阶释放腐蚀模型进行深入研究,详细分析了一、二阶混合释放腐蚀模型在微机械中几种基本牺牲层腐蚀结构中的应用,并对分析结果进行仿真计算和分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金仲和	浙江大学信息与电子工程学系	144	1047	18.0	25.0
2	马慧莲	浙江大学信息与电子工程学系	57	569	13.0	21.0
3	丁纯	浙江大学信息与电子工程学系	12	280	8.0	12.0
4	徐宁宁	浙江大学信息与电子工程学系	4	2	1.0	1.0