表面微机械结构的释放腐蚀模型理论与应用

• 作者: 丁纯 赖鼐 金仲和 马慧莲
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 表面微机械 释放腐蚀 腐蚀模型
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 516-519
• 页数: 4页
• 分类号: TN405.98
• 字数: 2719字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2004.03.040

摘要

本文介绍了HF腐蚀牺牲层二氧化硅的一、二阶混合释放腐蚀模型.以从port到bubble的组合微机械结构为例,深入研究了一、二阶混合释放腐蚀模型在具体牺牲层腐蚀结构中的应用,并对腐蚀行为进行了仿真和分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金仲和	浙江大学信息与电子工程系	144	1047	18.0	25.0
2	马慧莲	浙江大学信息与电子工程系	57	569	13.0	21.0
3	丁纯	浙江大学信息与电子工程系	12	280	8.0	12.0
4	赖鼐	浙江大学信息与电子工程系	1	2	1.0	1.0