自混合干涉微位移传感器

• 作者: 李明 李达成 王鸣 聂守平
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 自混合干涉 位移测量 PZT驱动器
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 428-431
• 页数: 4页
• 分类号: TM93
• 字数: 2412字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2004.04.003

摘要

有许多测量微位移的光干涉方法,然而难以实现结构紧凑、价格低的测量系统,因为这些传统干涉方法都需要许多光学元器件.提出用激光自混合干涉术测量微位移,分析和讨论了自混合干涉信号的产生和处理方法,用快速傅立叶变换(FFT)相位探测技术分析自混合干涉信号,可提高相位测量精度.提出的传感器可以用于亚微米级位移的测量和控制,并给出了PZT位移的实验结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李达成	清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	43	658	15.0	24.0
2	王鸣	南京师范大学物理科学与技术学院光电技术江苏省重点实验室	91	636	14.0	20.0
3	李明	南京师范大学物理科学与技术学院光电技术江苏省重点实验室	22	258	9.0	16.0
4	聂守平	南京师范大学物理科学与技术学院光电技术江苏省重点实验室	50	460	13.0	19.0