微机电芯片的密封腔体制作方法

• 作者: 罗乐 肖克来提
• 来源期刊: 科技开发动态
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电芯片 密封腔体 制作方法 支撑体
• 年，卷（期）: 2004,（9）
• 页码范围: 45
• 页数: 1页
• 分类号: TP368.1
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗乐	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	42	263	9.0	14.0
2	肖克来提	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	3	50	2.0	3.0