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相关文献总数  
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(/年)
文献信息
篇名 微机电芯片的密封腔体制作方法
来源期刊 科技开发动态 学科 工学
关键词 微机电芯片 密封腔体 制作方法 支撑体
年,卷(期) kjkfdt_2004,(9) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 45
页数 1页 分类号 TP368.1
字数 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 罗乐 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 42 263 9.0 14.0
2 肖克来提 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 3 50 2.0 3.0
传播情况
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引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (0)
节点文献
引证文献  (0)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
2004(0)
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研究主题发展历程
节点文献
微机电芯片
密封腔体
制作方法
支撑体
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
科技开发动态
双月刊
1003-014X
CN 11-2681/N
北京市中关村北四环西路33号
出版文献量(篇)
5181
总下载数(次)
14
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