MEMS动态测试中频闪同步控制系统

• 作者: 傅星 栗大超 胡小唐 胡春光 胡晓东 郭彤 金翠云
• 来源期刊: 天津大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 动态测试 虚拟仪器 频闪 同步
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 精密仪器与光电子工程
• 页码范围: 47-51
• 页数: 5页
• 分类号: TH133.21
• 字数: 3363字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0493-2137.2005.01.011

摘要

频闪同步控制系统是微机电系统(MEMS)动态测试系统中的重要组成部分.为了满足MEMS发展对测试系统的需求,基于频闪成像技术,设计了一套频闪同步控制系统,用于采集高速运动的MEMS器件的清晰图像.系统采用虚拟仪器方式,通过软件控制波形发生器生成各类逻辑控制信号,驱动CCD摄像机、光源和图像采集卡等设备协调工作.实验表明,测量平面运动时,系统在50倍放大倍率下,可测器件运动速度达5.1 m/s,测量分辨率优于180 nm,测量重复性为40 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
2	栗大超	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	89	722	14.0	20.0
3	傅星	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	107	753	14.0	20.0
4	郭彤	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	46	370	11.0	17.0
5	胡春光	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	37	333	10.0	16.0
6	金翠云	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	17	189	8.0	13.0
7	胡晓东	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	86	712	15.0	23.0