光针轮廓仪伺服机构设计与聚焦误差信号的改进

• 作者: 王选择 谢铁邦 郭军
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 光针轮廓仪 线切割方法 聚焦误差信号 阶梯测量
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: 8-11
• 页数: 4页
• 分类号: TB92
• 字数: 3627字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2005.01.003

摘要

应用线切割方法设计了光针轮廓仪伺服机构-音圈电机的结构,使其具有更好的静动态特性和焦点自动跟踪能力.通过改善传统的聚焦误差信号曲线,并利用数字伺服控制方法,在提高系统测量精度的同时,克服了传统对于陡坑或阶梯测量容易脱焦的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢铁邦	华中科技大学机械学院仪器系	92	848	17.0	24.0
2	王选择	华中科技大学机械学院仪器系	12	170	7.0	12.0
3	郭军	华中科技大学机械学院仪器系	22	287	11.0	16.0