用衍射场叠加法分析四种误差下的X光波带片

• 作者: 付绍军 刘颖 肖凯
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: X射线波带片 衍射 环带位置误差 宽度误差 扩散 粗糙度
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 25-30
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2745字
• 语种: 中文

摘要

利用叠加所有圆环的解析近似衍射场的方法来计算和分析随机环带位置误差、宽度误差、扩散和粗糙度对X射线波带片的效率和分辨率的影响.用Strehl比来量化和衡量与理想波带片有偏差的波带片的性能,对两个波带片例子分别用Strehl极限确定了其能容许的四种误差极限.以一个Ni软X射线波带片为例,用叠加圆环衍射场的方法分析了随机环带位置误差和宽度误差对主焦点效率和分辨率的影响;以一个SiO2/Ni硬X射线溅射切片波带片为例,计算了两种材料的相互扩散和粗糙度对衍射效率和分辨率的影响.计算结果表明,四种误差越大,主焦点效率越小,分辨率越差,对第一个波带片例子而言,随机环带位置误差均方根和宽度误差均方根小于最外环宽度的30%;而对于第二个波带片例子,扩散区宽度和粗糙度均方根分别小于最外环宽度的105%和50%时,得到的Strehl比在Strehl极限之上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	付绍军	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	69	435	12.0	15.0
2	刘颖	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	158	3777	30.0	58.0
3	肖凯	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	11	281	8.0	11.0