基于波带片纳米聚焦装置的快速扫描X射线荧光成像实验系统

• 作者: 兰旭颖 张招红 张继超 李爱国 王劼
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 同步辐射 纳米聚焦装置 快速扫描荧光成像
• 年，卷（期）: 2019,（12）
• 所属期刊栏目: 技术及应用
• 页码范围: 2478-2484
• 页数: 7页
• 分类号: TL99
• 语种: 中文
• DOI: 10.7538/yzk.2018.youxian.0878

摘要

在上海光源硬X射线微聚焦光束线站BL15U1,为提高波带片纳米聚焦装置的X射线荧光成像实验效率,设计实现了一种快速扫描荧光成像实验装置.该装置包括运动控制系统、样品荧光探测系统和实验数据同步获取系统.运动控制系统设计了闭环反馈控制、样品台电机运动控制和扫描轨迹,实现了快速扫描过程中样品的准确定位.样品荧光探测系统和实验数据同步获取系统实现了硬件同步触发计数器获取荧光计数,保证了荧光成像的准确性.实验结果表明,运动控制系统三角波形跟踪误差小于20 nm,满足光斑在样品处的重复定位精度小于光斑尺寸1/10的要求.用该系统获取了标准铜网的元素分布图像,图像获取时间是"走停"扫描模式的1/5,验证了实验系统的可行性和高效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李爱国	中国科学院上海应用物理研究所	26	374	9.0	19.0
5	张招红	中国科学院上海应用物理研究所	9	34	3.0	5.0
9	张继超	中国科学院上海应用物理研究所	20	79	5.0	8.0
13	兰旭颖	中国科学院上海应用物理研究所	4	1	1.0	1.0