X射线成像波带片及制作

• 作者: 刘刚 柳龙华 田扬超 陈洁
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 菲涅耳渡带片 X射线成像 空间分辨率 衍射效率
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 2007中德双边高级专家X射线光学研讨会专栏
• 页码范围: 1894-1899
• 页数: 6页
• 分类号: O434.1|O436.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924x.2007.12.012

摘要

研究了X射线成像波带片的工作原理和制作工艺.从理论上分析了波带片的空间分辨率与最外环宽度的关系,以及波带片衍射效率与厚度和折射率的关系.利用国家同步辐射实验室发展的加工工艺,即电子束光刻技术和X射线光刻技术结合制作波带片.实验结果表明:波带片最外环宽度为150 nm,高宽比为4,基本满足高分辨X射线成像波带片的高空间分辨率、大高宽比、高精度等要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈洁	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	90	1445	18.0	36.0
2	刘刚	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	207	2369	24.0	40.0
3	田扬超	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	50	372	12.0	17.0
4	柳龙华	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	4	58	4.0	4.0