Mo2C膜脱附激活能随沉积温度的变化规律

• 作者: 张浩波 郑瑞伦
• 来源期刊: 重庆大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: Mo2C膜 脱附激活能 沉积温度
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 数学·物理·化学·生物技术
• 页码范围: 106-109
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1|O484.4
• 字数: 2319字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-582X.2005.04.026

摘要

介绍了用金属有机气相沉积(MOCVD)制备Mo2C膜的过程和对膜的颗粒粒径的测量结果,建立物理模型,导出粒子脱附激活能的计算公式,探讨了Mo2C膜的脱附激活能随沉积温度的变化.结果表明:沉积温度低于380 ℃时,Mo2C膜的脱附激活能随温度升高而增大较快;而高于380 ℃时,激活能随温度升高而增大的速度变小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑瑞伦	西南师范大学物理学院	46	181	8.0	10.0
2	张浩波	重庆广播电视大学基础部	19	59	3.0	7.0