基于椭圆光斑的离轴微位移计量

• 作者: 孙戎 杨国光 梁宜勇
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 椭圆光斑 离轴法 微位移 调焦
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 135-137
• 页数: 3页
• 分类号: TB92
• 字数: 2195字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2005.02.009

摘要

提出一种基于离轴法并采用椭圆光斑的光学微位移计量手段.模拟分析给出了椭圆光斑在线性度、灵敏度和动态范围等方面对探测性能带来的影响.基于这一微位移计量原理,在激光直写设备上制作了具有实用价值的圆光栅,这也表明半导体激光器可以取代传统的氦氖激光器并无需光斑整形.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁宜勇	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	38	190	8.0	12.0
2	杨国光	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	91	1226	21.0	30.0
3	孙戎	浙江公安高等专科学校实验中心	6	38	3.0	6.0