程控无油超高真空排气台的研制

• 作者: 李建 李晓勇 王远 米伦
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 无油超高真空系统 真空度 程控工艺
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 知识与进展
• 页码范围: 170-174
• 页数: 5页
• 分类号: TP273|TB751
• 字数: 2916字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2005.03.010

摘要

由外冷式吸附泵作为前级泵、溅射离子泵作为主抽真空泵构成无油超高真空系统,采用计算机控制技术,以真空度为工艺进程判据,对器件进行烘烤排气,实现电真空器件的真空排气工艺的自动控制.介绍了无油超高真空系统、控制系统、烘箱与热功率以及软件的设计.排气台为多工位结构,具有气体质谱分析和充气功能;空载时极限真空度优于8×10-7Pa;烘箱烘烤温度为25～600℃,连续可调,恒温精度优于±1%;分析质量数为1～80.程控排气台设计合理,操作简便,计算机控制技术精细了工艺过程控制量,排除了人为因素,其性能稳定可靠,可满足使用要求

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王远	中国工程物理研究院电子工程研究所	67	188	8.0	11.0
2	米伦	中国工程物理研究院电子工程研究所	19	63	4.0	7.0
3	李晓勇		3	8	2.0	2.0
4	李建		1	4	1.0	1.0