一种新的离子引出方法--射频共振法

• 作者: 包成玉 宋晓鹏 陈戎
• 来源期刊: 质谱学报
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体 射频共振法 离子引出
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 119-125
• 页数: 7页
• 分类号: O532|O562|TL25
• 字数: 4995字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2997.2005.02.014

摘要

在传统的静电场离子引出中,由于等离子体屏蔽的存在,限制离子引出时间,降低了离子引出率.为了削弱静电场方法中等离子体屏蔽对离子引出的影响,提出了射频共振的方法.射频共振法是利用等离子体回路阻抗与外加射频电场频率之间的相互关系,通过调节射频电场频率,使射频电场与等离子体达到共振状态.当达到共振时,等离子体阻抗最小,电场可以穿透等离子体,提高了离子引出效率.共振法缩短了离子引出时间,提高了离子引出效率,并且可以通过对外加磁场的调节来控制等离子体密度.本文介绍了目前射频共振理论的模拟计算和实验研究情况.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	包成玉	清华大学工程物理系	29	244	7.0	15.0
2	宋晓鹏	清华大学工程物理系	2	3	1.0	1.0
3	陈戎	清华大学工程物理系	3	8	2.0	2.0