Ansys在PZT压电薄膜微传感器压电分析中的应用

• 作者: 娄利飞 张军琴 李跃进 杨银堂
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微传感器 有限元法 压电分析
• 年，卷（期）: 2005,（7）
• 页码范围: 875-878
• 页数: 4页
• 分类号: TN3
• 字数: 3641字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1003-8728.2005.07.032

摘要

研究的PZT压电薄膜微传感器采用的弹性敏感元件为微悬臂梁结构,在压电原理和材料力学理论的基础上,采用简化的等效微器件结构建立了数学分析模型,将有限元方法发展应用于压电材料的结构分析中,并运用有限元软件Ansys7.0对PZT压电薄膜微悬臂梁结构的传感性能和线性度进行了模拟,同时分析了微悬臂梁结构的几何参数对输出电压的影响,这些分析结果和解析预测是一致的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨银堂		32	202	6.0	13.0
2	李跃进		2	49	2.0	2.0
3	张军琴		2	46	2.0	2.0
4	娄利飞		3	49	3.0	3.0