微流控芯片金属模具制备工艺研究

• 作者: 刘景全 朱军 李建华 陈迪
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: SU-8 UV-LIGA PDMS 金属模具 微流控
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 56-58,75
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1759字
• 语种: 中文

摘要

为了解决SU-8光刻胶电铸金属模具中遇到的光刻胶脱落和电铸后去胶难等问题,提出了采用硅橡胶(PDMS)微复制与电铸毛细管电泳芯片金属模具相结合的新工艺.该方法首先用SU-8光刻胶制备微通道阳模,以此为模版浇注PDMS阴模,然后在此PDMS阴模上电镀金属模具.与采用SU-8光刻胶电镀金属模具相比,此方法不存在光刻胶与衬底结合力差以及去胶难等问题,所制备的金属模具侧壁垂直,表面光滑.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李建华		1	11	1.0	1.0
2	陈迪		2	15	2.0	2.0
3	刘景全		2	15	2.0	2.0
4	朱军		1	11	1.0	1.0