用原子力显微镜研究经化学腐蚀和氧退火的SrTiO3(001)基片

• 作者: 吕惠宾 周岳亮 朱湘东 杨国桢 王旭 费义艳 金奎娟 陈正豪
• 来源期刊: 中国科学G辑
• 关键词: AFM SrTiO3 表面形貌 表面缺陷
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 物理学
• 页码范围: 158-166
• 页数: 9页
• 字数: 2528字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-7275.2005.02.006

摘要

用原子力显微镜(AFM),采用缓冲HF酸溶液(NH4F-buffered)腐蚀和氧气氛退火处理的SrTiO3 (001) (STO)基片,获得了表面具有单原胞层高度台阶和原子尺度光滑表面的STO基片. 对于优质单晶的STO基片,其表面为TiO2层,对于单晶质量差和有缺陷的STO基片,可观测到基片表面的缺陷和不均匀性.