压电式微定位机构及其控制系统的研究

• 作者: 孙宝玉 林洁琼 梁淑卿 王登月
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 微定位机构 压电陶瓷 柔性铰链 数字PID控制
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 压电及其他功能器件
• 页码范围: 139-141
• 页数: 3页
• 分类号: TH703.8
• 字数: 2779字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2005.02.014

摘要

研究、设计了一种以柔性铰链为导向元件、压电陶瓷为驱动器的微定位机构,给出了机构的动力学模型.结合检测装置和微机控制系统,设计并研制了基于前馈控制同数字PID反馈控制相结合的复合控制的微定位系统.实验表明,微定位系统定位行程可达100μm,定位分辨力0.01μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙宝玉	长春工业大学机电学院	44	291	12.0	16.0
2	林洁琼	长春工业大学机电学院	57	278	9.0	15.0
3	王登月		6	91	5.0	6.0
4	梁淑卿	长春工业大学机电学院	8	75	5.0	8.0