半导体力学量传感器的制造方法

• 来源期刊: 国外传感技术
• 学科: 工学
• 关键词: 制造方法 半导体力学量传感器 半导体基片 精度
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: i003
• 页数: 1页
• 分类号: TP212

摘要

在此之前的制造技术存在的缺点是，凹部上的半导体基片总是中央厚、周边薄，厚度不均匀．传感器精度不近人意。