热超声倒装键合同步触发系统的设计

• 作者: 李建平 王福亮 钟掘 霍军亚 韩雷
• 来源期刊: 中南大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 热超声 倒装键合 触发 中断 扫描
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 机电与信息工程
• 页码范围: 1026-1030
• 页数: 5页
• 分类号: TN345+.4
• 字数: 1703字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7207.2005.06.021

摘要

通过热超声倒装键合测量系统同步触发实验对比研究了单片机扫描工作模式和单片机中断工作模式触发系统的稳定性和触发延迟方面的性能. 实验结果表明: 单片机中断工作模式的触发系统具有更稳定的最大延迟时间、平均延迟时间和延迟时间标准方差, 最大延迟时间、平均延迟时间和延迟时间标准方差都比单片机扫描工作模式的触发系统的低, 特别是其延迟时间标准方差仅为0.5 μs. 单片机中断工作模式的触发系统的平均触发延迟时间为9 μs, 小于热超声振动周期且每次触发延迟时间恒定. 对热超声倒装键合数据采集系统和多普勒测振系统进行同步触发实验, 结果进一步证实: 中断工作模式的触发系统能够满足热超声倒装键合数据采集系统和多普勒测振系统的实时性、精确性及稳定性等方面的要求, 可以实现对有效数据的精确截取.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟掘	中南大学机电工程学院	145	2500	26.0	41.0
2	韩雷	中南大学机电工程学院	78	614	14.0	20.0
3	李建平	中南大学机电工程学院	41	254	9.0	12.0
4	王福亮	中南大学机电工程学院	35	276	9.0	15.0
5	霍军亚	中南大学机电工程学院	2	8	2.0	2.0