热超声倒装键合机视觉系统的设计与实现

• 作者: 李建平 王福亮 邹中升
• 来源期刊: 中南大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 热超声倒装键合 机器视觉 HexSight视觉软件 误差分析
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 机电与信息工程
• 页码范围: 116-121
• 页数: 6页
• 分类号: TP242.6+2|TP271+.4
• 字数: 4476字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7207.2007.01.024

摘要

针对热超声倒装键合过程中对准工作的特点,确定合理的视觉自动对准方案,在对多种颜色和形状的LED光源进行实验对比的基础上,设计环形LED光源与单个LED发光二极管组合的照明方式,使芯片、基板表面亮度一致且表面几何特征清晰.视觉软件以HexSight为核心,利用创建参考点实现不同目标的识别,并对2个CCD摄像机的控制方案进行优化.通过分析多次识别结果对单项误差进行评估,并以实验用1 mm×1 mm的表面有8个凸点的芯片为例计算视觉识别系统的综合误差,结果表明此视觉识别系统满足芯片键合时对定位精度的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李建平	中南大学机电工程学院	41	254	9.0	12.0
2	王福亮	中南大学机电工程学院	35	276	9.0	15.0
3	邹中升	中南大学机电工程学院	4	17	2.0	4.0