新型纳米三坐标测量机Z轴的研制

• 作者: 卫兵 王继臣 胡鹏浩
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米三坐标测量机 Z轴 柔性铰链
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 138-141
• 页数: 4页
• 分类号: TH721
• 字数: 2163字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2005.z1.028

摘要

介绍了一种新型纳米三坐标测量机Z轴的结构设计.提出了两级驱动式结构,即通过粗动与微动相结合的驱动方式实现纳米级精度.第一级粗动,采用2个NANOMOTION LS4系列大行程纳米电机从两侧同时驱动,克服了单侧驱动的不利因素,使得机构运行时更加稳定;第二级微动,采用压电陶瓷驱动,通过柔性铰链位移缩小结构将位移分辨率提高到1 nm.计算和分析表明,这种新型的两级驱动式结构可以满足纳米三坐标测量机Z向测量高精度、大行程要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡鹏浩	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	66	460	12.0	17.0
2	卫兵	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	6	38	4.0	6.0
3	王继臣	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	3	18	2.0	3.0