低温等离子体清洗设备

• 作者: 余慧 李俊岭
• 来源期刊: 清洗世界
• 学科: 工学
• 关键词: 低温等离子体 清洗机理 应用
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 新技术、新工艺
• 页码范围: 31-34
• 页数: 4页
• 分类号: TN409|O46
• 字数: 3803字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-8909.2005.05.007

摘要

简要介绍了低温等离子体清洗设备清洗机理、特点及其应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李俊岭	中国电子科技集团公司第二研究所	8	21	3.0	4.0
2	余慧	中国电子科技集团公司第二研究所	1	5	1.0	1.0